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検索キーワード:(件名: #感光性樹脂)
該当件数:3件
フォトレジスト材料開発の新展開 / 上田充監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2015.11. - (CMCテクニカルライブラリー ; 562 . エレクトロニクスシリーズ)
図書
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
東京 : 共立出版 , 2005.2. - (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
東京 : 共立出版 , 1990.4. - (表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)