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検索キーワード:(件名: #マイクロマシン)
該当件数:19件
MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ / 三田吉郎著
東京 : 日刊工業新聞社 , 2018.8
図書
これからのMEMS : LSIとの融合 / 江刺正喜, 小野崇人共著
東京 : 森北出版 , 2016.6
小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法 / 肥後矢吉編著 ; 谷川紘 [ほか] 共著
東京 : コロナ社 , 2015.7
はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems / 江刺正喜著
東京 : 森北出版 , 2011.3
はじめてのMEMS / 江刺正喜著
東京 : 工業調査会 , 2009.9. - (ビギナーズブックス ; 48)
マイクロマシン技術 / 北原時雄, 石川雄一監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2007.2. - (CMCテクニカルライブラリー ; 250)
センサ・マイクロマシン工学 / 藤田博之編著
東京 : オーム社 , 2005.10. - (EE text)
マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
東京 : 工業調査会 , 2003.8
マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術 / マイクロマシン技術総覧編集委員会編
東京 : 産業技術サービスセンター , 2003.1
マイクロマシン : 異種要素を集積化した小形で高度な働きをするシステム / 江刺正喜監修
東京 : 産業技術サービスセンター , 2002.2
光マイクロメカトロニクス / 板生清, 保坂寛, 片桐祥雅著
東京 : 共立出版 , 1999.12. - (先端光エレクトロニクスシリーズ / 伊賀健一, 池上徹彦, 荒川泰彦編集委員 ; 9)
マイクロロボットのためのアクチュエータ技術 / 鈴森康一 [ほか] 共著
東京 : コロナ社 , 1998.8
情報マイクロシステム : 微小振動論 / 板生清著
東京 : 朝倉書店 , 1998.4
マイクロオプトメカトロニクスハンドブック / 五十嵐伊勢美, 江刺正喜, 藤田博之編集
東京 : 朝倉書店 , 1997.11
マイクロマシンの世界 : 超微細機械開発へのアプローチ / 藤田博之著
東京 : 工業調査会 , 1992.6. - (K books ; 85)
マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧 / 樋口俊郎, 生田幸士編集幹事
東京 : フジ・テクノシステム , 1992.3
マイクロマシン : 賢く働く微小機械 / 宝谷紘一,江刺正喜著
東京 : 読売新聞社 , 1991.12. - (読売科学選書 ; 46)
マイクロ知能化運動システム : マイクロマシンの工学的実現 / 原島文雄, 江刺正喜, 藤田博之編
東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.8
マイクロマシンと材料
東京 : シーエムシー , 1991.3