富山県立大学の資料を検索します。
CiNii Booksを検索します。
NDLサーチを検索します。
CiNii Researchを検索します。
CiNii Dissertationsを検索します。
本学の蔵書を検索した結果です。電子媒体は詳細画面から外部へリンクする事が可能です。
検索キーワード:(件名: #Plasma etching)
該当件数:5件
Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
2nd ed. - Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience , c2005
図書
New York : Wiley , c1994
Dry etching for VLSI / A.J. van Roosmalen, J.A.G. Baggerman, and S.J.H. Brader
New York : Plenum Press , c1991. - (Updates in applied physics and electrical technology)
Dry processing for submicrometer lithography : 12-13 October 1989, Santa Clara, California / James Bondur, Alan R. Reinberg, chairs/editors : sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
Bellingham, Wash., USA : The Society , c1990. - (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1185)
Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
Amsterdam : Tokyo : North-Holland. - New York, N.Y. : Tokyo : North-Holland. - (Materials processing, theory and practices ; v. 4)