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検索キーワード:(件名: #Lithography Electron beam)
該当件数:3件
The physics of submicron lithography / Kamil A. Valiev
New York : Plenum Press , c1992. - (Microdevices)
図書
Electron-beam, X-ray, and ion-beam submicrometer lithographies for manufacturing : 6-7 March 1991, San Jose, California / Martin Peckerar, chair/editor : sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
Bellingham, Wash. : SPIE , c1991. - (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1465)
Dry processing for submicrometer lithography : 12-13 October 1989, Santa Clara, California / James Bondur, Alan R. Reinberg, chairs/editors : sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
Bellingham, Wash., USA : The Society , c1990. - (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1185)