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検索キーワード:(件名: #リソグラフィー)
該当件数:13件
リソグラフィ技術その40年
東京 : S&T出版 , 2016.12
図書
フォトレジスト材料開発の新展開 / 上田充監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2015.11. - (CMCテクニカルライブラリー ; 562 . エレクトロニクスシリーズ)
液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2012.8. - (CMCテクニカルライブラリー ; 432 . エレクトロニクスシリーズ)
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
東京 : 技術評論社 , 2012.1. - (現場の即戦力)
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
東京 : 秀和システム , 2011.10. - (How-nual図解入門)
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著
東京 : 東京電機大学出版局 , 2011.4
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
東京 : オーム社 , 2007.6
ナノテクノロジーとレジスト材料 / 山岡亞夫監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2007.4. - (CMCテクニカルライブラリー ; 256)
入門フォトマスク技術 : LSI, FPD, PWB, MEMSのためのフォトマスク / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久著
東京 : 工業調査会 , 2006.12
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
東京 : 共立出版 , 2005.2. - (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
東京 : 工業調査会 , 2003.6. - (ビギナーズブックス ; 29)
マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
東京 : 丸善 , 1986.10. - (Frontier technology series ; [002])
図解フォトファブリケーション : 精密・微細加工入門 / 橋本貴夫著
東京 : 総合電子出版社 , 1986.7. - (マイクロ加工シリーズ)