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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著 T2 表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 A1 津田, 穣 (1935-) YR 1990 FD 1990.4 SP v, 117p K1 集積回路 K1 工業材料 K1 薄膜 K1 感光性樹脂 K1 集積回路 PB 共立出版 PP 東京 SN 4320085116 LA Japanese (日本語) CL NDC7:549.8 CL NDC8:549.7 CL NDC8:578.4 CL NDLC:PA441 NO 文献: p [110]-113 NO 書誌ID=B000073093; NCID=BN04656779; LK [OPAC]https://lib.pu-toyama.ac.jp/opac/opac_link/bibid/B000073093 OL 58