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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 ナノメータスケール加工技術 : 超精密加工への化学的効果の応用 / 精密工学会編 A1 精密工学会 YR 1993 FD 1993.8 SP ix, 326, vip K1 機械工作 PB 日刊工業新聞社 PP 東京 SN 4526033758 LA Japanese (日本語) CL NDC8:532 NO 執筆者: 青田利一ほか NO 各章末: 参考文献 NO 書誌ID=B000056230; NCID=BN0963406X; LK [OPAC]https://lib.pu-toyama.ac.jp/opac/opac_link/bibid/B000056230 OL 58