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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー / プラズマ・核融合学会編 A1 プラズマ・核融合学会 YR 2017 FD 2017.1 SP vii, 273p K1 材料科学 K1 プラズマ物理学 K1 工業材料 K1 プラズマ K1 ナノテクノロジー PB 森北出版 PP 東京 SN 9784627775619 LA Japanese (日本語) CL NDLC:M213 CL NDC9:501.4 NO 文献: 各章末 NO 書誌ID=B000112867; NCID=BB22938144; LK [OPAC]https://lib.pu-toyama.ac.jp/opac/opac_link/bibid/B000112867 OL 58