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チョウビサイカコウギジュツ
超微細加工技術 / 応用物理学会編 : 徳山巍編著
(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース)

データ種別	図書
出版者	東京 : オーム社
出版年	1997.2
本文言語	日本語
大きさ	xiv,309p ; 22cm
著者標目	応用物理学会 <オウヨウブツリガッカイ> 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.8\|\|TO45	101298792						予約		予約
	射水-1階-和書	549.8\|\|TO45	101409506						予約		予約

一般注記	参考文献: 各章末索引: p[305]-309 執筆: 徳山巍ほか
件　名	NDLSH:ガラス NDLSH:ガラス製品 BSH:半導体 NDLSH:集積回路
分　類	NDC9:549.7 NDC8:573.5 NDC8:549.8 NDLC:PA241
書誌ID	B000051094
ISBN	427402332X
NCID	BN15970232