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プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳

データ種別 図書
第2版
出版者 東京 : 丸善
出版年 2010.1
本文言語 日本語
大きさ xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
著者標目 Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ>
堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル>

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射水-1階-和書 427.6||L62 101682359




射水-1階-和書 427.6||L62 101682367




射水-1階-和書 427.6||L62 101682375



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別書名 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
一般注記 監修: 堀勝
参考文献: p[591]-604
件 名 BSH:プラズマ物理学
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:427.6
NDC9:427.6
書誌ID B000104699
ISBN 9784621082232
NCID BB00985264

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