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デンシセンリソグラフィキョウホン
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編

データ種別	図書
出版者	東京 : オーム社
出版年	2007.6
本文言語	日本語
大きさ	xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
著者標目	秋永, 広幸 <アキナガ, ヒロユキ> 横山, 浩 <ヨコヤマ, ヒロシ>

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巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.7\|\|A36	101674513						予約		予約
	射水-1階-和書	549.7\|\|A36	101674521					9784274204159	予約		予約
	射水-1階-和書	549.7\|\|A36	101674539						予約		予約

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別書名	標題紙タイトル:Electron beam lithography
一般注記	監修: 横山浩参考文献: p201-203
件　名	BSH:リソグラフィー BSH:電子線
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7
書誌ID	B000104064
ISBN	9784274204159
NCID	BA82476094