OPAC

ハジメテノハンドウタイリソグラフィギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(ビギナーズブックス ; 29)

データ種別	図書
出版者	東京 : 工業調査会
出版年	2003.6
本文言語	日本語
大きさ	305p : 挿図 ; 21cm
著者標目	岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ> 上野, 巧 <ウエノ, タクミ>

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