OPAC

Plasma deposition of amorphous silicon-based materials / edited by Giovanni Bruno, Pio Capezzuto, Arun Madan
(Plasma-materials interactions)

データ種別	図書
出版者	Boston : Academic Press
出版年	c1995
本文言語	英語
大きさ	xi, 324 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Bruno, Giovanni Capezzuto, Pio Madan, A. (Arun)

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.8\|\|P71	101245306						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Amorphous semiconductors -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Silicon alloys LCSH:Plasma-enhanced chemical vapor deposition
分　類	LCC:TK7871.99.A45 DC20:621.3815/2
書誌ID	B000061510
ISBN	012137940X
NCID	BA2626808X