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Polysilicon films and interfaces : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, C.Y. Wong, C.V. Thompson, K.N. Tu
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 106)

データ種別	図書
出版者	Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年	c1988
大きさ	xi, 369 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Wong, C. Y. (Catherine Y.) Thompson, C. V. (Carl V.) Tu, K. N. (King-Ning) Symposium on Polysilicon Films and Interfaces

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
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	射水-1階-洋書	501\|\|MA71\|\|106	101122950						予約		予約

一般注記	"This volume represents the Proceedings of the Symposium on Polysilicon Films and Interfaces"--P. xi Includes bibliographies and indexes
件　名	LCSH:Silicon -- Electric properties -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Integrated circuits -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.15.S55 DC19:620.1/93
書誌ID	B000050495
ISBN	093183774X
NCID	BA0688725X