Polycrystalline silicon for integrated circuit applications / by Ted Kamins
(The Kluwer international series in engineering and computer science ; SECS 45)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Boston : Kluwer Academic Publishers |
出版年 | c1988 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | xii, 290 p. : ill. ; 24 cm |
著者標目 | *Kamins, Theodore I. |
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巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
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射水-1階-洋書 | 549.7||KA37 | 100796531 |
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一般注記 | Bibliography: p. 249-280 Includes index |
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件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Materials
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LCSH:Silicon -- Electric properties 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7871.15.S55 DC19:621.381/71 |
書誌ID | B000086881 |
ISBN | 0898382599 |
NCID | BA04964371 |
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