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ハンドウタイカコウソウチノカイハツシ = Development of semiconductor fabrication equipment : ハンドウタイノビサイカトセイゾウノシステムカエノチョウセン
半導体加工装置の開発史 = Development of semiconductor fabrication equipment : 半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦 / 通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会編著

データ種別	図書
出版者	[東京] : 日本電信電話先端集積デバイス研究所
出版年	2016.3
本文言語	日本語
大きさ	303p ; 30cm
著者標目	向井, 久和 <ムカイ, ヒサカズ> 通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会 <ツウケンハンドウタイギジュツシソウチヘンヘンシュウイインカイ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.8\|\|Ts59	101780732						予約		予約
	射水-1階-和書	549.8\|\|Ts59	101785871						予約		予約

別書名	その他のタイトル:Development of semiconductor fabrication equipment
一般注記	監修: 向井久和発行所: サイバー出版センター
件　名	NDLSH:半導体製造装置
分　類	NDLC:ND371 NDC9:549.8
書誌ID	B000112522
ISBN	9784908520037
NCID	BB22140718