OPAC

セイゾウプロセスヘン
製造プロセス編 / 角南英夫著
(電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学)

データ種別	図書
出版者	東京 : コロナ社
出版年	2006.8
本文言語	日本語
大きさ	xii, 189p ; 26cm
著者標目	電子情報通信学会 <デンシジョウホウツウシンガッカイ> 角南, 英夫 <スナミ, ヒデオ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.7\|\|I97\|\|2	101590016						予約		予約

別書名	奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
一般注記	引用・参考文献: p[177]-186
件　名	NDLSH:集積回路
分　類	NDC9:549.7
書誌ID	B000098870
ISBN	4339018872
NCID	BA81206403