OPAC

2000 International Conference on Ion Implantation Technology proceedings : Ion implantation technology-2000 , Alpbach, Austria, 17-22 September 2000 / editors, Heiner Ryssel ... [et al.]

データ種別	図書
出版者	Piscataway, NJ : IEEE Operations Center
出版年	c2000
本文言語	英語
大きさ	xxvi, 829 p. : ill. ; 28 cm
著者標目	*International Conference on Ion Implantation Technology (2000 : Alpbach, Austria) Ryssel, Heiner, 1941- Institute of Electrical and Electronics Engineers

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
2000(第13回)	射水-1階-洋書	549.8\|\|I57\|\|00	101577633						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Semiconductors -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Ion implantation -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC21:621.3815/2
書誌ID	B000092059
ISBN	0780364627
NCID	BA6155621X