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Ion implantation technology : proceedings of the eighth International Conference on Ion Implantation Technology,University of Surrey, Guildford, UK, 30 July-3 August, 1990 / edited under the responsibility of P.L.F. Hemment. ... [et al.]
(Nuclear instruments & methods in physics research ; Section B. Beam interactions with materials and atoms ; Vol.B 55, Nos.1-4)

データ種別 図書
出版者 Amsterdam : North-Holland
出版年 1991
本文言語 英語
大きさ xxi, 920 p. : ill. ; 27 cm
著者標目 *International Conference on Ion Implantation Technology (8th : 1990 :University Surrey, Guildford,UK)
Hemment, P.L.F.

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1990(第8回) 射水-1階-洋書 549.8||I57||90 101577591



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別書名 その他のタイトル:Ion implantation technology 8
一般注記 Includes bibliographical references and index
件 名 LCSH:Semiconductors -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Ion implantation -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Semiconductor doping -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7871.85
DC20:621.3815/2
書誌ID B000092057

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