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Ion implantation : science and technology / edited by J.F. Ziegler
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Boston : Academic Press |
| 出版年 | c1988 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | ix, 498 p. : ill. ; 24 cm |
| 著者標目 | Ziegler, J. F. |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 件 名 | LCSH:Ion implantation |
| 分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC19:539/.6 |
| 書誌ID | B000073647 |
| ISBN | 0127806210 |
| NCID | BA04333450 |
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