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The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface 2 / edited by C. Robert Helms and Bruce E. Deal

データ種別	図書
出版者	New York : Plenum Press
出版年	c1993
本文言語	英語
大きさ	xvi , 503p. ; 26cm
著者標目	Helms, C. Robert Deal, Bruce E. Electrochemical Society. Electronics Division Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface (2nd : 1992 : St. Louis, Mo.)

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
2	射水-1階-洋書	435.7\|\|P57\|\|2	101245223						予約		予約

一般注記	Proceedings of the Second Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface, held May 18-21, 1992, in St. Louis, Missouri, sponsored by the Electronics Division and the Dielectric Science and Technology Division of the Electrochemical Society Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Silica -- Surfaces -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Dielectrics -- Surfaces -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Silicon dioxide films -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Surface chemistry -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Technology) -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:QC585.75.S55 DC20:546/.6832
書誌ID	B000056547
ISBN	0306444194
NCID	BA21102079