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VLSI fabrication principles : silicon and gallium arsenide / Sorab K. Ghandhi

データ種別	図書
版	Rev. ed. [i.e. 2nd ed.]
出版者	N.Y. : Wiley
出版年	c1994
本文言語	英語
大きさ	xxiv, 834 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	*Ghandhi, Sorab Khushro, 1928-

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