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Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition / edited by André Anders
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : J. Wiley |
| 出版年 | c2000 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xxiii, 736 p. : ill. ; 25 cm |
| 著者標目 | Anders, André |
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| 一般注記 | "A Wiley-Interscience publication." Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Ion bombardment -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Metals -- Surfaces 全ての件名で検索 LCSH:Metals -- Finishing 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TS695.25. DC21:671.7 |
| 書誌ID | B000054739 |
| ISBN | 0471246980 |
| NCID | BA4949965X |
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