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ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ
次世代精密位置決め技術 / 精密工学会超精密位置決め専門委員会, 次世代精密位置決め技術編集委員会監修

データ種別 図書
出版者 東京 : フジ・テクノシステム
出版年 2000.4
本文言語 日本語
大きさ 15, 674p ; 27cm
著者標目  精密工学会 <セイミツ コウガッカイ>
 精密工学会超精密位置決め専門委員会 <セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ イチギメ センモン イインカイ>
次世代精密位置決め技術編集委員会 <ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ>

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射水-1階-和書 535.3||J54 101401834
2000
493855576X

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別書名 標題紙タイトル:Present and future technology of ultraprecision positioning
一般注記 編集委員長: 大塚二郎
参考・引用文献: 各節末
件 名 BSH:精密測定
NDLSH:自動制御
分 類 NDC9:501.22
NDC9:531.38
書誌ID B000053304
ISBN 493855576X
NCID BA46716933

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