OPAC

ULSI プロセスノキソギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08)

データ種別	図書
出版者	東京 : 丸善
出版年	1991.3
本文言語	日本語
大きさ	xi, 262p ; 22cm
著者標目	古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ> 石原, 健 <イシハラ, タケシ> 堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	540.8\|\|Ma59\|\|M-8	101011146		1991			4621035835	予約		予約
	射水-1階-和書	540.8\|\|Ma59\|\|M-8	101077246		1991			4621035835	予約		予約