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ヒカリ プラズマ プロセシング
光・プラズマプロセシング / 明石和夫 [ほか] 編

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 1986.9
本文言語 日本語
大きさ xii, 370, viip ; 22cm
著者標目 明石, 和夫(1928-) [ほか] 編 <アカシ, カズオ>

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射水-1階-和書 431.71||A32 100896240




射水-1階-和書 431.71||A32 101022887



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別書名 異なりアクセスタイトル:光プラズマプロセシング
一般注記 その他の編者: 服部秀三, 松本修
文献: 章末
件 名 BSH:プラズマ
NDLSH:工業材料
NDLSH:膜(工学)
分 類 NDC8:427.6
NDC8:431.71
NDLC:MC241
書誌ID B000044823
ISBN 4526020788
NCID BN00432780

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