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スパッタギジュツ
スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別	図書
出版者	東京 : 共立出版
出版年	1988.6
本文言語	日本語
大きさ	v, 227p ; 22cm
著者標目	和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ> 早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>

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巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	431.86\|\|W41	100683713		1988			4320084772	予約		予約
	射水-1階-和書	431.86\|\|W41	100790765		1988			4320084772	予約		予約
	射水-1階-和書	431.86\|\|W41	101023224		1992			4320084772	予約		予約

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一般注記	文献: 各章末
件　名	BSH:薄膜 NDLSH:薄膜
分　類	NDC8:431.86 NDC8:549 NDC7:431.89
書誌ID	B000036962
ISBN	4320084772
NCID	BN02297664