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Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg

データ種別	図書
版	2nd ed
出版者	Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience
出版年	c2005
本文言語	英語
大きさ	xxxv, 757 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	*Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	427.6\|\|L62\|\|2ed	101750800		2005			0471720011	予約		予約
	射水-1階-洋書	427.6\|\|L62\|\|2ed	101750818		2005			0471720011	予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references (p. 735-748) and index
件　名	LCSH:Plasma dynamics LCSH:Thin films -- Surfaces 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching LCSH:Plasma chemistry -- Industrial applications 全ての件名で検索
分　類	LCC:QC718.5.D9 DC22:530.4/4
書誌ID	B000013597
ISBN	9780471720010
NCID	BA72469354