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ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems
はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems / 江刺正喜著

データ種別	図書
出版者	東京 : 森北出版
出版年	2011.3
本文言語	日本語
大きさ	230p : 挿図 ; 21cm
著者標目	江刺, 正喜(1949-) <エサシ, マサヨシ>

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