OPAC

Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications / by Arthur Sherman
(Materials science and process technology series)

データ種別	図書
出版者	Park Ridge, N.J. : Noyes Publications
出版年	c1987
本文言語	英語
大きさ	xi, 215 p. : ill. ; 25 cm
著者標目	*Sherman, Arthur

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.7\|\|SH14	100805266						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Vapor-plating LCSH:Integrated circuits -- Design and construction 全ての件名で検索
分　類	LCC:TS695 DC19:621.381/7
書誌ID	B000044282
ISBN	0815511361
NCID	BA04523081