OPAC

Ion beam assisted film growth / edited by Tadatsugu Itoh
(Beam modification of materials ; 3)

データ種別	図書
出版者	Amsterdam : Oxford ; Tokyo : Elsevier
出版年	1989
本文言語	英語
大きさ	xvii, 439 p : ill. ; 25 cm
著者標目	伊藤, 糾次 <イトウ, タダツグ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	428.4\|\|I61	101113355						予約		予約

一般注記	Includes index
件　名	LCSH:Thin films, Multilayered LCSH:Ion bombardment LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Semiconductor films
分　類	LCC:QC176.9.M84 DC19:530.4/1 NDC8:428.4
書誌ID	B000073256
ISBN	0444872809
NCID	BA06776816