OPAC

Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.E. Howard ... [et al.]
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 76)

データ種別	図書
出版者	Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年	c1987
本文言語	英語
大きさ	xvii, 373 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Howard, R. E. (Richard Edwin), 1948- Symposium on the Science and Technology of Microfabrication Materials Research Society. Meeting Materials Research Society

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	501\|\|MA71\|\|76	100796630						予約		予約

一般注記	Proceedings of the Symposium on the Science and Technology of Microfabrication, sponsored by the Materials Research Society as part of its 1986 Fall Meeting Includes bibliographies
件　名	LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7874 DC19:621.381/73
書誌ID	B000081239
ISBN	0931837421
NCID	BA01149091