OPAC

Optical/laser microlithography III : 7-9 March 1990, San Jose, California / Victor Pol, chair/editor : sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1264)

データ種別	図書
出版者	Bellingham, Wash., USA : SPIE
出版年	c1990
本文言語	英語
大きさ	x, 586 p. : ill. ; 28 cm
著者標目	Pol, Victor Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.95\|\|O69	101110757						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Optical instruments -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TA1677 DC20:621.36/6
書誌ID	B000087229
ISBN	0819403113
NCID	BA25246682