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Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao

データ種別	図書
出版者	Boston : Tokyo : Academic Press
出版年	c1989
本文言語	英語
大きさ	xii, 587 p. ; 24 cm
著者標目	Ehrlich, Daniel J. Tsao, Jeffrey Y.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.95\|\|L33	101100030						予約		予約

一般注記	Includes bibliographies and index
件　名	LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography
分　類	LCC:TA1677 DC19:621.36/6
書誌ID	B000048738
ISBN	0122334302
NCID	BA07027712