OPAC

Characteristics of sputtered particles, technical applications / edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 64 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Bhrisch and K. Wittmaack ; 3)

データ種別	図書
出版者	Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag
出版年	c1991
本文言語	英語
大きさ	xiii, 410 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Behrisch, Rainer Wittmaack, K.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
: gw	射水-1階-洋書	566.7\|\|SP9\|\|3	101142040					3540534288	予約		予約
: gw	射水-1階-洋書	429.6\|\|Sp9	101144996		1991			3540534288	予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and indexes
件　名	LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索
分　類	LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1
書誌ID	B000062278
ISBN	3540534288
NCID	BA13027998