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ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1992.10
本文言語 日本語
大きさ xiii, 394p : 挿図 ; 22cm
著者標目  徳山, 巍 (1929-) <トクヤマ, タカシ>

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射水-1階-和書 549.7||To45 101150019
1992
4782856288

射水-1階-和書 549.7||To45 101672525
2009
4782856288

射水-1階-和書 549.7||To45 101672533
2009
4782856288

書誌詳細を非表示

一般注記 監修: 菅野卓雄
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND371
書誌ID B000069951
ISBN 9784782856284
NCID BN08137616

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