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シリコン ネツ サンカ マク ト ソノ カイメン : キソ ブッセイ カラ チョウ LSI エノ オウヨウ マデ
シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで / 谷口研二〔編〕

データ種別 図書
出版者 東京 : リアライズ社
出版年 1991.7
本文言語 日本語
大きさ 422p ; 27cm
著者標目 谷口, 研二(1948-) <タニグチ, ケンジ>

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射水-1階-和書 549.8||TA88 101150662



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一般注記 各章末:参考文献
件 名 NDLSH:シリコン(半導体)
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID B000071434
ISBN 4947655445
NCID BN1064502X

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