プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1986.8 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | iv,202,iiip ; 22cm |
著者標目 | 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル> |
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巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
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射水-1階-和書 | 427.6||Ko78 | 100943620 |
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