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プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 1986.8
本文言語 日本語
大きさ iv,202,iiip ; 22cm
著者標目 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル>

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射水-1階-和書 427.6||Ko78 100943620



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一般注記 各章末:文献
件 名 BSH:プラズマ
NDLSH:プラズマ
分 類 NDC8:427.6
NDC8:431.7
NDC7:427.5
書誌ID B000070361
ISBN 4526020656
NCID BN00233219

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