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ナノメータ スケール カコウ ギジュツ : チョウセイミツ カコウ エノ カガクテキ コウカ ノ オウヨウ
ナノメータスケール加工技術 : 超精密加工への化学的効果の応用 / 精密工学会編

データ種別	図書
出版者	東京 : 日刊工業新聞社
出版年	1993.8
本文言語	日本語
大きさ	ix, 326, vip ; 22cm
著者標目	精密工学会 <セイミツ コウガッカイ>

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