OPAC

Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 / edited under the responsibility of T. Takagi ... [et al.]
(Nuclear instruments & methods in physics research ; Section B. Beam interactions with materials and atoms ; v.37-38)

データ種別	図書
出版者	Amsterdam : North-Holland
出版年	1989
本文言語	英語
大きさ	xx, 994 p. : ill. ; 27 cm
著者標目	*International Conference on Ion Implantation Technology (7th : 1988 : Kyoto, Japan) Takagi, T.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
1988(第7回)	射水-1階-洋書	549.8\|\|I57\|\|88	101577583						予約		予約

別書名	その他のタイトル:Ion implantation technology 7
一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Semiconductors -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Ion implantation -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2
書誌ID	B000092047
NCID	BA36830910