OPAC

Semiconductor fabrication : technology and metrology / Dinesh C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 990)

データ種別	図書
出版者	Philadelphia, PA : ASTM
出版年	c1989
本文言語	英語
大きさ	476 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Gupta, D. C. (Dinesh C.) Symposium on Semiconductor Processing (5th : 1988 : Santa Clara, Calif.) ASTM Committee F-1 on Electronics Semiconductor Equipment and Materials International

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.8\|\|SE53	101138899						予約		予約

一般注記	Papers originally presented at the Fifth International Symposium on Semiconductor Processing, held at Santa Clara, Calif., on Feb. 1-5, 1988, sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics and Semiconductor Equipment & Materials International Includes bibliographies and indexes "ASTM publication code number (PCN) 04-990000-46"--T.p. verso
件　名	LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.85 DC20:621.381/52
書誌ID	B000086990
ISBN	0803112734
NCID	BA07637305