OPAC

Selected papers on optical microlithography / Harry L. Stover, editor
(SPIE milestone series / Brian J. Thompson, general editor ; v. MS 55)

データ種別	図書
出版者	Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press
出版年	c1992
本文言語	英語
大きさ	xviii, 676 p. : ill. ; 28 cm
著者標目	Stover, Harry L.

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.8\|\|SE47	101110716						予約		予約

別書名	異なりアクセスタイトル:Optical microlithography
一般注記	Papers originally published in various journals, 1974-1991 Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Semiconductors -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography LCSH:Masks (Electronics)
分　類	LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2
書誌ID	B000086985
ISBN	0819409855
NCID	BA25780639