OPAC

Optical/laser microlithography V : 11-13 March 1992, San Jose, California / John D. Cuthbert, chair/editor : sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1674)

データ種別	図書
出版者	Bellingham, Wash., USA : SPIE
出版年	c1992
本文言語	英語
大きさ	2 v. (x, 907 p.) : ill. ; 28 cm
著者標目	Cuthbert, John D. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
part 1	射水-2階-洋書	749.1\|\|O69\|\|5-1	101100600						予約		予約
part 2	射水-2階-洋書	749.1\|\|O69\|\|5-2	101100618						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references and index
件　名	LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Optical instruments -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TA1677 DC20:621.36/6
書誌ID	B000077577
ISBN	0819408298
NCID	BA26388944