OPAC

Excimer laser lithography / Kanti Jain

データ種別	図書
出版者	Bellingham, Wash., USA : SPIE Optical Engineering Press
出版年	c1990
本文言語	英語
大きさ	x, 212 p. : ill. ; 26 cm
著者標目	*Jain, Kanti, 1948-

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-洋書	549.95\|\|J15	101100394						予約		予約

一般注記	Includes bibliographical references (p. 193-207)
件　名	LCSH:Excimer lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography
分　類	LCC:TA1695 DC20:621.381/531
書誌ID	B000049335
ISBN	0819402710
NCID	BA45714579