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プラズマ イオン ビーム オウヨウ ト ナノテクノロジー
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー / 上條榮治監修

データ種別 図書
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2002.3
本文言語 日本語
大きさ 316p ; 26cm
著者標目 上條, 榮治 <カミジョウ, エイジ>

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射水-1階-和書 549.1||KA38 101496131



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別書名 標題紙タイトル:Ion beam and plasma process for nanotechnology
件　名 BSH:イオンビーム
BSH:プラズマ
BSH:ナノテクノロジー
分　類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
書誌ID B000077319
ISBN 4882313472
NCID BA57457178

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