Ion implantation and beam processing / edited by J.S. Williams, J.M. Poate
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Sydney : New York : Academic Press |
出版年 | 1984 |
大きさ | xi, 419 p. : ill. ; 24 cm |
著者標目 | Williams, J. S. (James Stanislaus) Poate, J. M. |
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巻 次 | 配架場所 | 請求記号 | 登録番号 | コメント | 刷 年 | 状 態 | 利用注記 | ISBN | 予約 | 請求メモ |
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射水-1階-洋書 | 549.8||I61 | 100697267 |
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射水-1階-洋書 | 549.8||I61||A | 100793249 |
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一般注記 | Includes bibliographical references and index |
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件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Ion bombardment LCSH:Semiconductor doping LCSH:Electron beams |
分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC19:621.3815/2 |
書誌ID | B000060036 |
ISBN | 0127569804 |
NCID | BA06909986 |
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