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プラズマプロセシングノキソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳

データ種別	図書
出版者	東京 : 電気書院
出版年	1985.11
本文言語	日本語
大きさ	13, 391p ; 22cm
著者標目	Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ>

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巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	427.6\|\|C31	100837285						予約		予約
	射水-1階-和書	427.6\|\|C33	101214716						予約		予約
	射水-2階-電動書庫	427.6\|\|C33	101214708						予約	請求メモ	予約	請求メモ

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別書名	原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
一般注記	Glow discharge processes, c1980 の翻訳参考文献: p[357]-386
件　名	NDLSH:プラズマ
分　類	NDC8:427.6 NDLC:MC241
書誌ID	B000070360
ISBN	4485661180
NCID	BN00319697