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スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 1993.2
本文言語 日本語
大きさ v, 172, viip ; 21cm
著者標目  小林, 春洋(1925-) <コバヤシ, ハルヒロ>

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射水-1階-和書 549.8||Ko12 101341469
1998
4526032735

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件 名 BSH:薄膜
分 類 NDC8:549
書誌ID B000058064
ISBN 4526032735
NCID BN08694157

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