OPAC

ハジメテノハンドウタイリソグラフィギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(現場の即戦力)

データ種別	図書
出版者	東京 : 技術評論社
出版年	2012.1
本文言語	日本語
大きさ	x, 301p : 挿図 ; 21cm
著者標目	岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ> 上野, 巧 <ウエノ, タクミ>

巻　次	配架場所	請求記号	登録番号	コメント	刷　年	状　態	利用注記	ISBN	予約	請求メモ
	射水-1階-和書	549.7\|\|O48	101720928		2012			9784774149394	予約		予約

別書名	異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
一般注記	工業調査会 2003年刊の改訂参考文献: 各章末
件　名	BSH:リソグラフィー BSH:半導体
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7
書誌ID	B000107861
ISBN	9784774149394
NCID	BB07670705