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Materials science in semiconductor processing
| データ種別 | 電子ジャーナル |
|---|---|
| 巻次年月次 | Vol. 1, issue 1 (Apr. 1998)- |
| 出版者 | [S.l.] : Elsevier Science |
| 資料種別 | 機械可読データファイル |
| URL |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Title from title screen Access: via WWW |
| 著者標目 | Elsevier Science Publishers |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors Periodicals LCSH:Integrated circuits -- Materials Periodicals 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | B000099390 |
| ISSN | 13698001 |
| NCID | AA11538036 |
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